俄羅斯仍有5臺(tái)ASML光刻機(jī)可用！

自俄烏沖突爆發(fā)之后，俄羅斯被眾多國(guó)家和地區(qū)制裁，導(dǎo)致各種半導(dǎo)體芯片及設(shè)備的進(jìn)口都受到了限制。這也迫使俄羅斯加大了對(duì)于自研、本土制造芯片的投入，但依然會(huì)面臨設(shè)備、材料等很多方面的瓶頸。不過(guò)，據(jù)外媒《The Insider》報(bào)導(dǎo)，俄羅斯目前仍然可以通過(guò)一些途徑從中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口硅晶圓（半導(dǎo)體硅片）等產(chǎn)品，這些是制造芯片所必須的原材料。

基于軍事需求而建立的芯片制造能力

自2022年2月俄烏沖突爆發(fā)后，美國(guó)、歐盟、日本、新加坡、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等地就相繼出臺(tái)了針對(duì)俄羅斯的半導(dǎo)體的出口管制，希望通過(guò)阻斷半導(dǎo)體供應(yīng)，以降低俄羅斯的軍事戰(zhàn)力。雖然俄羅斯本土缺乏生產(chǎn)高性能、商業(yè)上可行的微芯片的現(xiàn)代技術(shù)，但這并不意味著當(dāng)?shù)刂圃焐滩恢廊绾紊a(chǎn)半導(dǎo)體芯體。老式的芯片生產(chǎn)技術(shù)早在蘇聯(lián)時(shí)代就已經(jīng)開(kāi)發(fā)出來(lái)了。

例如，據(jù)光刻專業(yè)人士Denis Shamiryan介紹，俄羅斯公司Mikron已經(jīng)掌握了大規(guī)模生產(chǎn)中的180nm技術(shù)和單件生產(chǎn)中的90nm技術(shù)。對(duì)于90nm工藝，Mikron使用意法半導(dǎo)體光刻設(shè)備。Mikron的民用產(chǎn)品僅限于銀行卡和護(hù)照芯片，其年產(chǎn)量達(dá)到40億個(gè)微芯片。

正如Shamiryan回憶的那樣，俄羅斯還計(jì)劃在莫斯科地區(qū)澤列諾格勒的Angstrem-T生產(chǎn)芯片，使用130nm和90nm技術(shù)。2000年代末，Angstrem-T從AMD位于德累斯頓的Fab36工廠購(gòu)買(mǎi)了完整的ASML生產(chǎn)線。然而，這些計(jì)劃從未實(shí)現(xiàn)，因?yàn)锳ngstrem-T在2019年被宣布破產(chǎn)。然而，另一家名為Angstrem（去掉T）的位于澤倫格勒的實(shí)體生產(chǎn)了一系列微芯片。

Shamiryan還指出，俄羅斯Rusnano集團(tuán)旗下Crocus NanoElectronics工廠曾成功建立65nm制程，主要是為了生產(chǎn)MRAM內(nèi)存，但它自己只能完成生產(chǎn)周期的一半，仍須依賴外國(guó)供應(yīng)，但后來(lái)因?yàn)橹撇迷摴S被迫停業(yè)

俄羅斯現(xiàn)存的微芯片生產(chǎn)設(shè)施主要服務(wù)于軍事需求。例如俄羅斯芯片制造商Epiel主要在莫斯科附近的澤列諾格勒開(kāi)展業(yè)務(wù)，并將自己定位為俄羅斯芯片制造外延生長(zhǎng)（epi）過(guò)程中的領(lǐng)導(dǎo)者。

根據(jù)Epiel最新的公開(kāi)財(cái)務(wù)報(bào)表，該公司2020年的收入接近700萬(wàn)美元。Epiel主要供應(yīng)適直徑為100mm、150mm和200mm的晶圓，雖然目前最先進(jìn)的現(xiàn)代技術(shù)采用的是300nm晶圓。在該年度，Epiel從俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部獲得了數(shù)十萬(wàn)美元的政府合同，并向合資公司NZPP Vostok（“新西伯利亞半導(dǎo)體器件廠”）供應(yīng)加工過(guò)的晶圓，該公司為終端制造商生產(chǎn)現(xiàn)成的芯片。

根據(jù)最新的公共采購(gòu)數(shù)據(jù)，NZPP Vostok積極與Rosatom實(shí)體K.a.Volodin儀器制造廠（聯(lián)邦國(guó)家統(tǒng)一企業(yè)）合作，后者專門(mén)生產(chǎn)核武器。而NZPP Vostok的工廠仍在生產(chǎn)64 K bit的存儲(chǔ)芯片，至少直到最近，該工廠還向Rybinsk的Luck Design Bureau等軍事企業(yè)出售價(jià)值數(shù)百萬(wàn)盧布的芯片，這些公司主要開(kāi)發(fā)包括無(wú)人機(jī)在內(nèi)的軍事裝備。

Epiel的另一個(gè)客戶是沃羅涅日的電子設(shè)備研究所，該研究所為被占領(lǐng)的克里米亞的Fiolent軍事工廠、Sozvezdie Concern（為武裝部隊(duì)制造電子戰(zhàn)和通信與控制設(shè)備）以及Rosatom的Volodin儀器制造廠提供產(chǎn)品。

現(xiàn)有記錄還表明，Epiel與前電子廠Pulsar之間存在合作，Pulsar為軍方制造微波設(shè)備、晶體管和微芯片。Epiel還履行了 N.L. Dukhov All-Russian Research Institute of Automation（N.L. 杜霍夫全俄自動(dòng)化研究所）的合同，該研究所開(kāi)發(fā)核彈頭。Epiel的地址與據(jù)說(shuō)屬于Mikron集團(tuán)的Sitronics Smart Technologies的地址相匹配。此外，Epiel與Mikron和俄羅斯分子電子學(xué)研究所共享辦公場(chǎng)所。因此，可以合理地假設(shè)Epiel屬于同一集團(tuán)公司。

俄羅斯制造的微芯片在武器中的具體應(yīng)用包括1890VM6Ya處理器及其在戰(zhàn)斗機(jī)Baguette飛行控制計(jì)算機(jī)中的變體。

早在2011年，熱門(mén)IT門(mén)戶網(wǎng)站Habr上的一篇文章就報(bào)道稱，Milandr在180nm技術(shù)設(shè)備上制造的芯片用于俄羅斯戰(zhàn)斗機(jī)和防空系統(tǒng)。

俄羅斯國(guó)內(nèi)芯片制造的過(guò)程似乎如下：首先，Epiel在進(jìn)口晶圓上進(jìn)行外延生長(zhǎng)。然后，Mikron、NZPP Vostok、Pulsar或電子設(shè)備研究所等公司使用這些半導(dǎo)體產(chǎn)品制造即用型微芯片。據(jù)行業(yè)專家稱，該過(guò)程可能包括將晶圓切割成單個(gè)芯體，連接引腳并“封裝”它們。

雖然相對(duì)于現(xiàn)代芯片來(lái)說(shuō)，這些芯片大多已經(jīng)過(guò)時(shí)，但俄羅斯武器制造商選擇國(guó)產(chǎn)芯片而不是技術(shù)更先進(jìn)的芯片，一方面是出于安全考慮，另一方面則是由于制程導(dǎo)致的供應(yīng)問(wèn)題。另外，由于這些芯片主要用于大型重型武器，因此最先進(jìn)的電子設(shè)備提供的小型化優(yōu)勢(shì)基本上無(wú)關(guān)緊要。

俄羅斯目前有5臺(tái)老式的ASML光刻機(jī)

對(duì)于俄羅斯來(lái)說(shuō)，自主制造芯片離不開(kāi)關(guān)鍵的半導(dǎo)體設(shè)備，特別是光刻機(jī)。目前全球主要的193nm（“深紫外”）波長(zhǎng)的DUV光刻機(jī)供應(yīng)商只有ASML、尼康和佳能，而13.5nm的（“極紫外”，接近X射線范圍）波長(zhǎng)的EUV光刻機(jī)只有ASML可以制造。

ASML發(fā)言人向The Insider證實(shí)，ASML公司從未向俄羅斯出售過(guò)大量設(shè)備。自2014年以來(lái)，只有價(jià)值5000萬(wàn)美元的ASML品牌光刻機(jī)進(jìn)口到俄羅斯。雖然5000萬(wàn)美元價(jià)值看起來(lái)不少，但這甚至都買(mǎi)不到一臺(tái)EUV光刻機(jī)。

ASML聲稱，俄羅斯只從第三國(guó)進(jìn)口了拆除的舊設(shè)備的零件。烏克蘭出版物《真理報(bào)》在很大程度上證實(shí)了這一評(píng)估。據(jù)報(bào)道，截至2022年，俄羅斯有五臺(tái)波長(zhǎng)范圍為365至193納米的ASML光刻機(jī)（均為PAS 5000系列）正在運(yùn)行，分別位于俄羅斯系統(tǒng)分析科學(xué)研究所、Mapper、Zelenograd納米技術(shù)中心和Mikron。

在俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)全面爆發(fā)后，臺(tái)積電已停止了對(duì)俄羅斯芯片的代工。為此，俄羅斯也不得不依靠已有的進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備在其國(guó)內(nèi)制造自研芯片。雖然目前俄羅斯有五臺(tái)ASML設(shè)備正在運(yùn)作中，但這些設(shè)備非常過(guò)時(shí)，甚至已有15-20年歷史。

對(duì)此，ASML堅(jiān)稱，不為俄羅斯的光刻設(shè)備提供維修服務(wù)，但是仍有很多相關(guān)零件在制造商無(wú)法控制的二級(jí)市場(chǎng)上流通。

需要指出的是，除了在制裁前進(jìn)口的少數(shù)西方光刻機(jī)外，俄羅斯制造商還可以從明斯克的Planar工廠獲得光刻機(jī)。這些光刻機(jī)在350nm的波長(zhǎng)下工作，最小特征尺寸為500nm，代表了1995年出現(xiàn)的一種技術(shù)，但到1999年已經(jīng)過(guò)時(shí)。

半導(dǎo)體原材料供應(yīng)

俄羅斯自己制造芯片還存在另一個(gè)問(wèn)題，那就是其本土缺乏必須的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商，比如半導(dǎo)體硅片和光罩等，這些必須依賴于進(jìn)口。雖然之前遇到了一些阻礙，但目前俄羅斯依然可以通過(guò)一些途徑采購(gòu)到這些產(chǎn)品。

根據(jù)俄羅斯海關(guān)內(nèi)部數(shù)據(jù)，俄羅斯在2023年共進(jìn)口了價(jià)值1.505億美元的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品（海關(guān)代碼848620），用于生產(chǎn)微芯片和印刷電路板。買(mǎi)家名單包括民用實(shí)體（如生產(chǎn)智能卡和芯片的Sitronics Smart Technologies和生產(chǎn)太陽(yáng)能電池板的Hevel）、各種設(shè)備（包括受制裁商品）的經(jīng)銷商，以及為外圍非核心項(xiàng)目購(gòu)買(mǎi)少量設(shè)備的組織（如IT公司Craftech）。

雖然俄羅斯最大的硅片進(jìn)口商是OOO Hevel，該公司在2023年從中國(guó)進(jìn)口了價(jià)值近700萬(wàn)美元的硅片，但這些硅片主要是用于太陽(yáng)能電池板的。而Epiel則是用于芯片制造的半導(dǎo)體硅片的最大的進(jìn)口商之一，其在2023年進(jìn)口了價(jià)值為220萬(wàn)美元半導(dǎo)體硅片。該公司的許多最終用戶都是軍工企業(yè)，從2010年代初到全面入侵烏克蘭，其大多數(shù)供應(yīng)商都是亞洲和美國(guó)的實(shí)體。

但在俄烏沖突爆發(fā)后，Epiel不得不徹底改變供應(yīng)商基礎(chǔ)，改從東南亞幾家主要出口商采購(gòu)半導(dǎo)體硅片。從The Insider整理的名單來(lái)看，中國(guó)臺(tái)灣公司Pai Haung Technology也向其出口了不少半導(dǎo)體硅片，而且其只與少數(shù)俄羅斯和白俄羅斯實(shí)體有業(yè)務(wù)往來(lái)，可直接從中臺(tái)灣運(yùn)送半導(dǎo)體硅片給他們。

自俄烏戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)后，Pai Haung以其品牌出售了價(jià)值400萬(wàn)美元的半導(dǎo)體硅片給俄羅斯和白俄羅斯，但該品牌在網(wǎng)上沒(méi)有任何知名度。The Insider認(rèn)為許多海關(guān)文件都將制造商指向另外一家公司，即中國(guó)臺(tái)灣合晶科技（Wafer Works），因?yàn)檫@家公司在俄烏沖突爆發(fā)前，也是Epiel的供應(yīng)商。

The Insider認(rèn)為，名不見(jiàn)經(jīng)傳的Pai Haung其實(shí)不生產(chǎn)半導(dǎo)體硅片，那他在供應(yīng)鏈的角色僅限于轉(zhuǎn)售中間商的角色。

由美國(guó)前財(cái)政部官員創(chuàng)立的數(shù)據(jù)公司Kharon發(fā)現(xiàn)，Pai Haung曾被列為美國(guó)DMS電子元件集團(tuán)網(wǎng)站上的附屬實(shí)體，但現(xiàn)在看這個(gè)信息已經(jīng)從網(wǎng)站消失。

Pai Haung執(zhí)行長(zhǎng)Bao Yongjian在接受中國(guó)臺(tái)灣媒體采訪時(shí)表示，公司會(huì)嚴(yán)格遵守中國(guó)臺(tái)灣法律，不與受制裁的公司做生意。

目前總部位于俄羅斯?jié)蓚惛窭盏腅piel確實(shí)沒(méi)有被列入美國(guó)及中國(guó)臺(tái)灣或其他制裁名單，盡管它是俄羅斯軍事工業(yè)最終使用的產(chǎn)品制造過(guò)程中不可或缺的一環(huán)。

然而，Pai Haung的另一個(gè)客戶AO VZPP Mikron（沃羅涅日半導(dǎo)體設(shè)備股份公司Mikron）正受到制裁。2020年，Mikron獲得了一系列政府合同，開(kāi)發(fā)高達(dá)1200伏的抗輻射齊納二極管，這些二極管更有可能用于軍事而非民用。

Epiel的第四大供應(yīng)商是日本D&X株式會(huì)社有限公司的中國(guó)分公司。應(yīng)《The Insider》的要求，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省發(fā)送了一份違禁品清單，其中顯示日本公司不允許向俄羅斯出口硅片（代碼381800）。

Epiel的另一家供應(yīng)商D&X公司尚未對(duì)《The Insider》的調(diào)查做出回應(yīng)。而管理部門(mén)則表示，它不知道D&X公司向俄羅斯發(fā)貨。

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編輯：芯智訊-浪客劍