知識(shí)星球(星球名:芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū),星球號(hào):63559049)里的學(xué)員問:TGV和TSV有哪些差異?在什么情況下更適合用TGV,什么情況下更適合用TSV?
什么是TSV,TGV?
見之前的文章:TSV工藝流程介紹;玻璃通孔(TGV)工藝流程
TSV與TGV有什么差異??
TGV(Through Glass Via) |
TSV(Through Silicon Via) |
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材料 | 玻璃 | 硅 |
絕緣性能 | 玻璃具有良好的絕緣性能,不需要額外的絕緣層 | 硅是半導(dǎo)體材料,需要在孔壁上沉積絕緣層(如二氧化硅)以防止電流泄漏 |
熱膨脹系數(shù) | 玻璃的CTE較低且與大多數(shù)半導(dǎo)體材料匹配較好 | 硅的CTE與大多數(shù)半導(dǎo)體材料匹配較好 |
加工難度 | 玻璃的加工難度較大,需要使用激光打孔,最后需要銅電鍍填孔 | 硅的加工相對(duì)容易,現(xiàn)有的硅蝕刻技術(shù)成熟,成本較低,最后需要銅電鍍填孔 |
導(dǎo)電性 | 玻璃是絕緣體,信號(hào)傳輸損耗較小 | 硅基材料的電阻較低,有利于信號(hào)傳輸和功率分布 |
導(dǎo)熱性 | 玻璃的導(dǎo)熱性較差,不利于熱量的散發(fā) | 硅具有良好的導(dǎo)熱性,有助于熱量的散發(fā) |
TGV與TSV應(yīng)用的芯片產(chǎn)品的差異?
由于玻璃的絕緣特性,TGV在高頻信號(hào)傳輸中損耗較小,擊穿電壓高,適合高頻應(yīng)用,如在光電子,射頻,MEMS較常見。而TSV則適用于邏輯芯片,存儲(chǔ)芯片,電源管理芯片等產(chǎn)品中。雖然有些區(qū)別,但最終的目的都是為了實(shí)現(xiàn)垂直互聯(lián)。
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