3.35英寸！寧波晶鉆同質(zhì)外延單晶金剛石再次突破

近日，在寧波晶鉆科技股份有限公司的金剛石產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，一顆顆CVD大單晶金剛石如期上線。其中，一顆60 mm?×?60 mm的單晶金剛石片映入眼簾。

據(jù)了解，該金剛石片采用的是同質(zhì)外延生長(zhǎng)技術(shù)，這不是晶鉆科技的首次突破！

作為根植于寧波的民營(yíng)企業(yè)，晶鉆科技自2014年制備出第一顆CVD單晶金剛石以來(lái)，歷經(jīng)10余次技術(shù)迭代，已量產(chǎn)2英寸CVD單晶金剛石。2023年底，成功制備出3英寸CVD單晶金剛石，目前也已穩(wěn)定批量化生產(chǎn)。如今產(chǎn)品再次升級(jí)，尺寸突破3.35英寸，并正在向4英寸以上單晶金剛石制備發(fā)起沖刺。

晶鉆科技產(chǎn)品發(fā)布時(shí)間線

微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）作為行業(yè)公認(rèn)的制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石的最佳手段。目前主要有兩種技術(shù)路線：同質(zhì)外延、異質(zhì)外延。相比于異質(zhì)外延生長(zhǎng)，同質(zhì)外延技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其晶體質(zhì)量高，內(nèi)應(yīng)力和位錯(cuò)密度低，同時(shí)能生長(zhǎng)出較大的籽晶原料，從而提高面積增加效率，但技術(shù)也極具挑戰(zhàn)性。

一直以來(lái)，晶鉆科技走的是同質(zhì)外延生長(zhǎng)路線。60 mm × 60 mm的尺寸，換算成半導(dǎo)體行業(yè)晶圓常用單位，大約3.35英寸。這也是晶鉆科技首次對(duì)外報(bào)道。

“加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力，就是要加快實(shí)現(xiàn)‘0到1’的顛覆性創(chuàng)新及‘1到100’的穩(wěn)定性提升”。張軍安董事長(zhǎng)說(shuō)道，“目前，我們的生產(chǎn)設(shè)備歷經(jīng)多輪升級(jí)迭代已擴(kuò)充到1500臺(tái)，這意味著，我們的大尺寸、高品質(zhì)CVD單晶金剛石年產(chǎn)能已達(dá)200萬(wàn)克拉，躍居世界前列?！?/p>

目前晶鉆科技已經(jīng)形成了完整的金剛石材料、相關(guān)裝備與應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)布局和標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)能力。其生產(chǎn)的CVD單晶金剛石的雜質(zhì)含量< 10 ppb，表面粗糙度< 1 nm，能可控進(jìn)行氮、硼元素?fù)诫s，為金剛石材料的功能化應(yīng)用夯實(shí)更加穩(wěn)固基礎(chǔ)。

從創(chuàng)新鏈的好技術(shù)到產(chǎn)業(yè)鏈的新應(yīng)用，這是條漫長(zhǎng)且艱難的道路?！伴L(zhǎng)材料”僅僅是一個(gè)開(kāi)始。

晶鉆科技產(chǎn)能已具備，下一步就是加快與產(chǎn)業(yè)鏈上下游的創(chuàng)新聯(lián)動(dòng)。

張軍安董事長(zhǎng)介紹，“晶鉆科技正加緊與相關(guān)企業(yè)和科研院所聯(lián)合攻關(guān)開(kāi)發(fā)。”

“晶鉆科技要做的就是在完成產(chǎn)品、生長(zhǎng)設(shè)備、工藝裝備、加工裝備及檢驗(yàn)檢測(cè)裝備的自主創(chuàng)新后，緊緊圍繞行業(yè)需求，持續(xù)創(chuàng)新與迭代，最終通過(guò)向下延伸、拓展應(yīng)用，站在金剛石行業(yè)發(fā)展的最前沿?！?/p>

目前，晶鉆科技高水平研發(fā)中心已從設(shè)計(jì)藍(lán)圖變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)，其占地123畝，首期投資10億元、建筑面積超80000㎡的現(xiàn)代化金剛石產(chǎn)業(yè)園已投入使用，這為企業(yè)實(shí)現(xiàn)科技成果轉(zhuǎn)化增強(qiáng)了信心。

“國(guó)內(nèi)第一家專(zhuān)業(yè)從事CVD單晶金剛石工業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)”、“第一臺(tái)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MPCVD單晶金剛石生長(zhǎng)設(shè)備”；“第一條自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的CVD大單晶金剛石工業(yè)化生產(chǎn)線”…… 這些已成為寧波晶鉆科技股份有限公司的第一印象標(biāo)簽。未來(lái)，這條創(chuàng)新之路將會(huì)持續(xù)。