東方晶源YieldBook 3.0 “BUFF疊滿” DMS+YMS+MMS三大系統(tǒng)

良率是芯片制造中的重要指標(biāo)。如果說(shuō)先進(jìn)制程代表晶圓廠技術(shù)的領(lǐng)先性，那么產(chǎn)品良率就代表著其產(chǎn)品的可靠性和經(jīng)濟(jì)性。在制造成本固定的情況下，良率越高單顆芯片成本越低。晶圓設(shè)計(jì)制造的每一步都影響著芯片的良率，因此芯片良率提升的關(guān)鍵在于對(duì)制造過(guò)程進(jìn)行完整有效地監(jiān)控檢測(cè)，同時(shí)結(jié)合制造過(guò)程中的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和潛在風(fēng)險(xiǎn)，并反饋至集成電路制造端和設(shè)計(jì)端，改進(jìn)工藝和設(shè)計(jì)。

針對(duì)行業(yè)這一需求和痛點(diǎn)，東方晶源推出良率管理平臺(tái)YieldBook，經(jīng)過(guò)兩年多的迭代升級(jí)，近期3.0版本上線。該版本充分發(fā)揮東方晶源在計(jì)算光刻軟件OPC和電子束量測(cè)檢測(cè)機(jī)臺(tái)領(lǐng)域的兼?zhèn)鋬?yōu)勢(shì)，成為業(yè)界率先實(shí)現(xiàn)對(duì)量測(cè)數(shù)據(jù)（MMS）、缺陷數(shù)據(jù)（DMS）、良率數(shù)據(jù)(YMS)全面一站式的良率管理軟件，可進(jìn)行單獨(dú)工藝質(zhì)量監(jiān)控、整體缺陷率統(tǒng)計(jì)、良率損失溯源分析、將制造難點(diǎn)向上游設(shè)計(jì)端反饋等，全面監(jiān)控影響良率的因素并輔助良率提升。

三大系統(tǒng)覆蓋Fab全部數(shù)據(jù)類型 實(shí)現(xiàn)全流程一站式良率管理

芯片產(chǎn)品良率，其影響因素可能包含設(shè)計(jì)、工藝和設(shè)備，有關(guān)良率的完整根因分析，需要此三方面的數(shù)據(jù)綜合分析，所以良率管理的能力，取決于所分析數(shù)據(jù)范圍的大小。在以往，F(xiàn)AB工程師需要借助MMS、DMS、YMS等多種工具。而YieldBook良率管理平臺(tái)集合了MMS、DMS、YMS三大系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)Fab全部數(shù)據(jù)類型的分析。值得一提的是YieldBook平臺(tái)并不是對(duì)于上述三個(gè)系統(tǒng)的簡(jiǎn)單承載，其可實(shí)現(xiàn)不同系統(tǒng)間底層數(shù)據(jù)的交叉分析，為良率管理提供更多助益。

四大特色功能“傍身” 良率管理再添“新玩法”

YieldBook良率管理平臺(tái)還具有四大特色功能，為FAB工程師帶來(lái)“新玩法”。（1）Defect Similar Pattern Map Search（缺陷相似圖形晶圓查找）：在Map gallery中選定base wafer，多維度設(shè)定查找條件，自動(dòng)呈現(xiàn)查找相似結(jié)果，供工程師進(jìn)一步分析、查找缺陷原因；（2）PME (Process Margin Explorer，制程區(qū)間分析器)：基于D2DB缺陷檢測(cè)算法，將晶圓檢測(cè)的圖像與設(shè)計(jì)版圖進(jìn)行比對(duì)，可識(shí)別出影響工藝窗口的缺陷版圖信息；（3）Auto Ink：支持自動(dòng)/手動(dòng)的方式對(duì)單個(gè)或批量晶圓的整個(gè)區(qū)域或partical區(qū)域進(jìn)行標(biāo)定，提升晶圓出貨時(shí)Inkless Map標(biāo)定效率；（4）RDMS(Reticle Defect Management System，光罩缺陷管理系統(tǒng))：分析Retical相關(guān)數(shù)據(jù)，通過(guò)缺陷熱力圖、重復(fù)缺陷數(shù)量匯總、掃描缺陷數(shù)據(jù)圖表等形式展現(xiàn)分析結(jié)果，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)光罩的缺陷管理。

完善的系統(tǒng)架構(gòu) 打牢打?qū)嵓夹g(shù)底座

良率管理軟件需要實(shí)現(xiàn)對(duì)海量制造數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)分析與反饋，要想滿足這一嚴(yán)苛要求，軟件的系統(tǒng)架構(gòu)、數(shù)據(jù)庫(kù)、算法等是最為底層的核心要素。東方晶源YieldBook具有完善的系統(tǒng)架構(gòu)層級(jí)，具有如下特點(diǎn)：存儲(chǔ)計(jì)算分離的架構(gòu)設(shè)計(jì)，按需對(duì)計(jì)算、存儲(chǔ)分別進(jìn)行在線擴(kuò)容或縮容，其過(guò)程對(duì)應(yīng)用運(yùn)維人員透明；國(guó)產(chǎn)分布式金融級(jí)別數(shù)據(jù)庫(kù)，采用多副本存儲(chǔ), 確保數(shù)據(jù)強(qiáng)一致性且少數(shù)副本故障時(shí)不影響數(shù)據(jù)的可用性，可滿足不同容災(zāi)級(jí)的要求；兼容MySQL 5.7協(xié)議、常用功能、生態(tài)，應(yīng)用無(wú)需或修改少量代碼可從MySQL遷移到TiDB，提供豐富的遷移工具完成數(shù)據(jù)遷移。值得一提的是，東方晶源對(duì)該系統(tǒng)架構(gòu)擁有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

以用戶為中心 易用性獨(dú)樹(shù)一幟

作為一款應(yīng)用級(jí)軟件，軟件是否好用是用戶非常關(guān)心的問(wèn)題，也決定著軟件是否能被廣泛接受。東方晶源YieldBook產(chǎn)品工程師具有多年的工藝經(jīng)驗(yàn)，深入洞悉用戶需求，因此YieldBook在易用性方面獨(dú)樹(shù)一幟。快速數(shù)據(jù)查詢、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理、多樣化圖標(biāo)展示、高頻操作一鍵觸達(dá)、圖表聯(lián)動(dòng)展示更清晰、平臺(tái)統(tǒng)一支持跨數(shù)據(jù)分析等，為良率管理工程師帶來(lái)全新體驗(yàn)。

未來(lái)，東方晶源將對(duì)YieldBook進(jìn)行持續(xù)優(yōu)化升級(jí)，在確保功能更加齊全的同時(shí)，提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格，更有效地幫助客戶實(shí)現(xiàn)快速機(jī)臺(tái)跨機(jī)，工藝優(yōu)化。此外，YieldBook還將對(duì)先進(jìn)節(jié)點(diǎn)芯片制造的良率管理提供有利支持，降本增效的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)良率快速爬坡、穩(wěn)定量產(chǎn)。

東方晶源作為國(guó)內(nèi)集成電路良率管理領(lǐng)導(dǎo)者，經(jīng)過(guò)十多年的深耕和布局，已在制程控制領(lǐng)域、制造類EDA領(lǐng)域取得卓越的成績(jī)，其電子束量測(cè)檢測(cè)設(shè)備，計(jì)算光刻軟件等產(chǎn)品，解決了集成電路制造過(guò)程中關(guān)鍵難題。如果將量測(cè)檢測(cè)設(shè)備比做“點(diǎn)”的話，那么良率管理系統(tǒng)就是一條“線”，把許多的點(diǎn)連接起來(lái)，系統(tǒng)化管理。YieldBook 3.0版本的推出，將發(fā)揮東方晶源軟硬件協(xié)同優(yōu)勢(shì)，進(jìn)一步夯實(shí)東方晶源在良率管理領(lǐng)域的實(shí)力和能力。