盛美半導體王暉：半導體企業(yè)應在尊重知識產(chǎn)權的基礎上，完成國際化

張通社 zhangtongshe.com

“我覺得未來中國的半導體產(chǎn)業(yè)，特別是高科技的發(fā)展，一定需要在尊重知識產(chǎn)權的基礎上完成國際化?！睂τ?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E9%9B%86%E6%88%90%E7%94%B5%E8%B7%AF/">集成電路如何健康發(fā)展，盛美半導體董事長王暉坦言道。

盛美半導體成立于2005年，是國內少數(shù)具有一定國際競爭力的半導體專用設備供應商。成立以來，盛美半導體始終堅持差異化競爭和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略，向全球集成電路制造、先進封裝及其他客戶提供定制化的設備及工藝解決方案，其自主研發(fā)的SAPS、TEBO兆聲波清洗技術和Tahoe單片槽式組合清洗技術在全球范圍內都是首創(chuàng)。

6月20日，在張通社和張江高科聯(lián)合舉辦的“聚焦國產(chǎn)新時代，賦能‘芯’質生產(chǎn)力”2024長三角集成電路張江論壇上，王暉帶來了《尊重知識產(chǎn)權，差異化競爭，讓創(chuàng)新回歸本色》的主題分享。他強調，在快速發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)中，尊重知識產(chǎn)權是保障可持續(xù)創(chuàng)新和公平競爭的基石。

01、全球半導體設備產(chǎn)業(yè)正向中國轉移

“半導體設備產(chǎn)業(yè)會隨著芯片產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)線轉移?！蓖鯐熃榻B道。

上世紀70至80年代，全球主要的芯片廠都位于美國，許多核心的半導體設備也都設立在美國；到了上世紀80至90年代，設備產(chǎn)業(yè)重心逐漸向日本轉移，彼時，日本的芯片生產(chǎn)線開始崛起；90年代后期，設備產(chǎn)業(yè)重心又逐漸向中國臺灣、韓國等地區(qū)轉移。

隨著芯片在中國的興起，2014年至今，中國芯片生產(chǎn)規(guī)模迎來爆發(fā)式增長，中國半導體設備產(chǎn)業(yè)隨之快速發(fā)展。

“以ASML為例，我們可以清晰地看到其發(fā)展過程中幾個關鍵節(jié)點都與產(chǎn)業(yè)鏈有關?！蓖鯐煴硎?，ASML從一家小公司成長為半導體設備巨頭，值得中國半導體企業(yè)學習。

1984年，ASML成立，推出第一個系統(tǒng)——PAS 2000步進式光刻機；1986年，推出PAS2500步進式光刻機；1995年成功推出PAS5500光刻機；1995，成功研制雙工作臺、浸沒式TWINSCANXT、TWINSCANNXT系列，一舉奠定光刻機領域的霸主地位；2000年，收購美國光刻機巨頭硅谷集團，推出雙品圓臺技術。

2010年，ASML與臺積電開展EUV設備研究，推出第一臺極紫外（EUV）光刻工具原型；206年，收購了臺灣領先的電子束測量工具HMI；2020收購特殊玻璃制造商柏林格拉斯集團；2019年，收購Mapper的知識產(chǎn)權資產(chǎn)；2017年，收購德國卡爾蔡司SMT股份有限公司，光刻機批量出貨。

“從ASML的歷程來看，其成功離不開對市場的跟蹤和對技術的執(zhí)著追求；此外，它注重全球式的供應鏈，通過收購相關業(yè)務實現(xiàn)銷售額增長，成為全球光刻機龍頭?！蓖鯐熣J為，與ASML相對的還有AMAT和LAM，前者采取平臺化策略，多領域覆蓋，抓住三次產(chǎn)業(yè)轉移機會積極布局海外，通過外延并購豐富產(chǎn)品線，成為半導體設備行業(yè)的巨頭；后者以刻蝕設備起家，通過收購PECVD、清洗等設備制造商，成長為平臺型公司。

“中國半導體設備消耗量在2023年達到29%，2024年預計26%，2025年25%，2026年24%。若未來保持25-30%的設備需求，中國絕對可以培養(yǎng)自己的半導體設備龍頭企業(yè)?！蓖鯐煹恼Z氣堅定。

02、三大原創(chuàng)核心技術賦能清洗設備

在半導體設備的七大領域中，清洗設備的細分領域曾被國際寡頭百分之百壟斷，但如今，盛美半導體成為國內這一設備領域的龍頭企業(yè)。據(jù)了解，盛美半導體產(chǎn)品的應用領域覆蓋前道濕法、后道濕法、大硅片濕法、電鍍、爐管、PECVD、Track和拋光等工藝環(huán)節(jié)。

“我們的核心技術有空間交變相移（SAPS）兆聲波清晰技術、解決兆聲波非穩(wěn)定氣穴震蕩引起的圖形破壞以及世界首創(chuàng)的Ultra C Tahoe技術?！蓖鯐熃榻B道。

以空間交變相移（SAPS）兆聲波清晰技術為例，在先進技術節(jié)點里，隨著會影響產(chǎn)品量率的“致命缺陷”不斷縮小，硅片清洗也變得愈發(fā)具有挑戰(zhàn)性。傳統(tǒng)噴射清洗對晶圓表面噴涂速度接近于零，無法去除微小顆粒；利用兆聲波產(chǎn)生的氣穴可將微粒從晶圓表面移除?？蓚鹘y(tǒng)兆聲波清洗又存在能量傳送不均勻，因此顆粒去除效率極低。盛美半導體的SAPS清洗技術擁有獨有的SAPS兆聲波設計，能做到均勻傳送，從而具有極高的顆粒去除率。

芯片結構正不斷提高深寬比，同時也不斷縮小，因而也變得更加脆弱，傳統(tǒng)清洗工藝會導致?lián)p傷和產(chǎn)量損失。“我們研發(fā)了TEBO技術，控制氣穴的震蕩，讓能量不要集聚到爆炸，做到兆聲波清洗無破壞。”王暉表示，這是盛美半導體全球首創(chuàng)的技術。

在Ultra C Tahoe技術上，可以綜合槽體清洗機與單片清洗機的工藝優(yōu)勢和成本優(yōu)勢，減少高溫硫酸使用量，降低硫酸成本80%以上，大幅減少芯片廠廢液處理量；整合槽式和單片清洗工藝，減少工藝步驟，提高工藝性能，縮短產(chǎn)品生產(chǎn)周期。

此外，盛美半導體還有超臨界CO2干燥技術、Ultra C be邊緣濕刻蝕設備以及三大新產(chǎn)品平臺。

“我們的戰(zhàn)略發(fā)展計劃是做到技術差異化、產(chǎn)品平臺化、客戶全球化。”王暉說道：“產(chǎn)品差異化的技術要面向全球，一半是國內銷售，一半是國外銷售，所以我認為盛美半導體未來的目標要朝著200億以上的年產(chǎn)量努力?！?/p>

03、尊重知識產(chǎn)權，繼續(xù)擴大開放

“為什么國際上的內卷沒有中國那么嚴重，核心的一點就是尊重知識產(chǎn)權?！?strong>在王暉看來，中國的半導體產(chǎn)業(yè)不缺市場，不缺資金，也不缺人才，但缺少對知識產(chǎn)權的有效保護。

在改革開放之前，中國沒有《專利法》，在半導體領域大家互相模仿，同質化嚴重，難以做到商業(yè)化?！叭绻鱾€企業(yè)能夠尊重知識產(chǎn)權，在這個基礎上良性內卷，不在模仿這條路上廝殺。那么，中國一定能夠擁有更多可以進入全球市場的高科技公司。”王暉感慨道。

王暉表示，保護知識產(chǎn)權需要著眼于集成電路產(chǎn)業(yè)立法和保護，也要鼓勵創(chuàng)新，提前布局專利研發(fā)。同時，浦東政府應營造良好的營商環(huán)境，吸引全世界創(chuàng)新科技公司匯集上海，輻射全國乃至全球?！氨Ｗo知識產(chǎn)權是第一步，我們還應該長期投入研發(fā)，擴大開放，實現(xiàn)‘再全球化’。”王暉說道。

“盛美是在張江這塊科創(chuàng)熱土上成長起來的，我們希望能立足張江，回饋上海，面向全球乃至全世界?！蓖鯐熃榻B，盛美半導體上海新總部設在張江，建筑面積為1.2萬平方米，預計今年啟用；盛美半導體設備研發(fā)與制造中心設在臨港新片區(qū)，建筑面積為13.8萬平方米，將于今年竣工。

上海的定位是“世界影響力的科創(chuàng)中心”，在這片科創(chuàng)熱土上會出現(xiàn)更多的世界級公司。“全球化一定會到來，那時，中國的技術公司一定要以你自己的核心IP，你自己的差異化技術，向全球半導體行業(yè)貢獻力量?！蓖鯐煹脑掔H鏘有力。

文字｜張文琪? ? ??編輯｜呂穎穎