為什么說(shuō)佳能是“明智”的光刻機(jī)出貨商？

本文由半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫（ID：ICVIEWS）編譯自jbpress

與從“器材之王”跌落的尼康有何區(qū)別？

1995年，當(dāng)日本半導(dǎo)體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)還很激烈時(shí)，尼康在光刻設(shè)備出貨額中占有48.9%的份額，佳能占28.7%的份額，讓日本總共獲得了77.6%的份額。當(dāng)時(shí)，尼康在光刻設(shè)備市場(chǎng)占有率第一，被譽(yù)為“器材之王”（圖1）。

圖 1 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量和份額（截至 2023 年）來(lái)源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建

然而，1995年市場(chǎng)份額為15.9%的荷蘭ASML此后市場(chǎng)份額快速提升，于2002年超越尼康和佳能，2010年市場(chǎng)份額超過(guò)80%，2021年市場(chǎng)份額達(dá)到90%。2023年，ASML將以94.2%的市場(chǎng)份額占據(jù)主導(dǎo)地位，而尼康的市場(chǎng)份額將下降至3.1%，佳能的市場(chǎng)份額將下降至2.8%。

ASML在ArF沉浸式設(shè)備的吞吐量和可用性方面壓倒了日本競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，自2008年以來(lái)，ArF沉浸式設(shè)備已成為其主打產(chǎn)品。ASML已成為尖端光刻設(shè)備EUV領(lǐng)域的主導(dǎo)公司。

結(jié)果，日本在光刻設(shè)備領(lǐng)域的存在似乎消失了。然而，如果我們計(jì)算光刻設(shè)備的“各類光刻設(shè)備的出貨量份額”而不是“EUV光刻設(shè)備出貨量份額”，則會(huì)出現(xiàn)完全不同的情況。筆者想討論下面的細(xì)節(jié)。

?各公司光刻設(shè)備出貨量及占比

圖2顯示了各公司出貨的光刻設(shè)備數(shù)量。2011年至2014年，ASML出貨量從222臺(tái)減少至136臺(tái)。此外，尼康的銷量從85臺(tái)減少到34臺(tái)。另一方面，佳能的出貨量變化不大，從52臺(tái)變化到54臺(tái)。

圖2 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量（截至2023年）來(lái)源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建

不過(guò)，從2015年到2023年，ASML和佳能的出貨量大幅增長(zhǎng)。ASML從169臺(tái)增加到449臺(tái)，佳能從80臺(tái)增加到187臺(tái)。另一方面，尼康的銷量從42臺(tái)增加到45臺(tái)，并沒(méi)有大幅增長(zhǎng)。接下來(lái)我們看一下全球光刻設(shè)備的出貨量以及各公司的出貨量占比（圖3）。

圖 3 按公司劃分的光刻設(shè)備出貨量份額（截至 2023 年）來(lái)源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建

ASML的出貨量份額穩(wěn)定在65%左右。另一方面，佳能的市場(chǎng)份額從2011年的11.4%逐漸上升，2015年以來(lái)一直維持在30%以下。另一方面，尼康的市場(chǎng)份額逐漸下降，從2011年的23.7%，下降到2023年的6.6%。這樣一來(lái)，佳能在銷量份額上根本無(wú)法與ASML匹敵，但在出貨量上卻擁有ASML近一半的份額。那么，佳能大量出貨的是哪些光刻設(shè)備呢？

?各公司光刻設(shè)備出貨量

圖4顯示了各公司各種光刻設(shè)備的出貨量。只有ASML可以出貨最先進(jìn)的光刻設(shè)備EUV，每臺(tái)成本為240億日元。至于每臺(tái)成本98億日元的ArF沉浸式，ASML有125臺(tái)，尼康有9臺(tái)，ASML以壓倒性優(yōu)勢(shì)領(lǐng)先尼康。在每臺(tái)售價(jià)31億日元的ArF干貨市場(chǎng)，ASML有32臺(tái)，尼康有10臺(tái)，所以尼康做得好一點(diǎn)。

圖 4 按公司劃分的各種光刻設(shè)備的價(jià)格和出貨量（2023 年）來(lái)源：根據(jù)摩根士丹利證券數(shù)據(jù)創(chuàng)建

其中數(shù)量最多的KrF為16億日元，ASML有184臺(tái)，尼康只有2臺(tái)，佳能有56臺(tái)。佳能在這里首次出現(xiàn)，佳能的56臺(tái)機(jī)器占ASML 184臺(tái)機(jī)器的30%。此外，單價(jià)7億日元的i-line，ASML出貨量為55臺(tái)，尼康出貨量為24臺(tái)，佳能出貨量為131臺(tái)，約為ASML的2.4倍。注意，各種光刻設(shè)備的價(jià)格是參考ASML的財(cái)務(wù)報(bào)告計(jì)算的。當(dāng)時(shí)換算成日元是1歐元=160日元。

?佳能專注于KrF和i-line

這樣看來(lái)，佳能的戰(zhàn)略就清晰了。佳能的策略是專注于KrF和i-line，而不觸及EUV和ArF等先進(jìn)技術(shù)。而且這個(gè)策略確實(shí)有效。這是因?yàn)樵谥圃彀雽?dǎo)體時(shí)，無(wú)論多么尖端，都不可能只使用EUV；而是會(huì)使用ArF浸沒(méi)式、ArF干式、KrF和i-line。換句話說(shuō)，無(wú)論未來(lái)半導(dǎo)體小型化進(jìn)展如何，KrF和i-line總會(huì)有生意的。而且，由于設(shè)備成熟，開(kāi)發(fā)成本幾乎可以忽略不計(jì)。

因此，佳能對(duì)KrF和i-line的重視可以說(shuō)是非常出色的。另一方面，尼康的策略不如佳能那么明確。在 ArF 浸沒(méi)和 ArF 干燥方面，尼康無(wú)法與 ASML 匹敵。憑借 KrF 和 i-line，無(wú)法擊敗佳能。換句話說(shuō)，尼康似乎正在彌補(bǔ) ASML 在尖端設(shè)備方面的不足，并在彌補(bǔ)佳能在成熟設(shè)備方面的不足。正如開(kāi)頭提到的，尼康在20世紀(jì)90年代被譽(yù)為“器材之王”。

然而，由于 ASML 和佳能，它現(xiàn)在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、無(wú)常。展望未來(lái)，ASML在尖端光刻設(shè)備方面已開(kāi)始出貨下一代EUV機(jī)器“High NA”。

此外，下一代“Hyper NA”將于2030年左右開(kāi)發(fā)。如此看來(lái)，佳能似乎將業(yè)務(wù)重點(diǎn)放在KrF和i-line上，而ASML則投入巨額研發(fā)成本，推進(jìn)尖端技術(shù)。我覺(jué)得佳能放棄尖端的策略很“聰明”。

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