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硅片和SOI哪個研究方向更好?

05/06 11:05
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知識星球(星球名:芯片制造與封測社區(qū),星球號:63559049)里的學(xué)員問:我研一將要結(jié)束,即將進(jìn)入課題組。我們課題組方向有硅片和soi兩種方向,這兩種方向該如何選擇呢?

硅片與SOI

硅片是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ),絕大多數(shù)的芯片都是在硅片上制造的。SOI(silicon on insulator?)利用絕緣層將單晶硅薄膜與單晶硅片隔離開來。與單晶硅片相比,SOI可以減少寄生電容,漏電流等,是一項比較前沿的技術(shù)。

制作方法的不同

硅片的制作方法:先用CZ法或FZ法制作出單晶硅錠,經(jīng)過切割成片,拋光等工序,得到單晶硅片SOI晶圓則是需要對已有的單晶硅片再加工,一般的方法有SIMOX,BESOI,晶體生長法等。涉及到的工藝有離子注入,退火,晶圓鍵合,CVD,cmp等。總的來說,硅片制造的工藝偏向于材料端,但是SOI所需要的工藝更貼近于半導(dǎo)體制造端,更先進(jìn)更前沿。

SOI技術(shù)的前景

SOI技術(shù)在微處理器,高性能RF芯片,硅光電子芯片中應(yīng)用廣泛。因此針對于個人的職業(yè)規(guī)劃,我認(rèn)為SOI方向具有極大的潛力。

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