資騰科技在Semicon China 2024展示ESG創(chuàng)新力，推出優(yōu)化半導(dǎo)體制程產(chǎn)品

佳世達(dá)集團(tuán)羅升企業(yè)旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項(xiàng)協(xié)助優(yōu)化半導(dǎo)體制程的創(chuàng)新產(chǎn)品，如超潔凈金屬氣體過(guò)濾器、超高精度光阻涂布泵等。該展覽于3月20日至22日在上海新國(guó)際博覽中心舉行，資騰科技的展位位于N3館3145號(hào)。

資騰科技總經(jīng)理陳國(guó)榮表示，因應(yīng)全球ESG、第三代半導(dǎo)體等趨勢(shì)需求，今年資騰科技將展示一系列針對(duì)半導(dǎo)體制造行業(yè)的創(chuàng)新產(chǎn)品，旨在提高制程效率、減少環(huán)境負(fù)荷，并支持產(chǎn)業(yè)的永續(xù)發(fā)展。以下是其中幾項(xiàng)亮點(diǎn)產(chǎn)品：

1.超潔凈金屬氣體過(guò)濾器：次世代奈米工廠(chǎng)必備，金屬燒結(jié)微米級(jí)不銹鋼（SUS 316L）短纖維制成薄層金屬膜過(guò)濾器，皺褶狀設(shè)計(jì)增加過(guò)濾面積。專(zhuān)為L(zhǎng)oad lock chamber排氣過(guò)濾而設(shè)，縮短排氣時(shí)間，提高機(jī)臺(tái)5-8%的稼動(dòng)率。

2.超高精度光阻涂布泵：適用于半導(dǎo)體黃光制程光阻涂布，以及其他需要精確控制藥液噴吐量的應(yīng)用場(chǎng)景。幾乎零藥液浪費(fèi)，可與半導(dǎo)體設(shè)備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供氣缸式和馬達(dá)式控制，穩(wěn)定性高且壽命長(zhǎng)。資騰提供在地實(shí)時(shí)服務(wù)支持。

3.非接觸型渦漩式吸筆：資騰自主研發(fā)，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學(xué)組件，避免晶圓或是光學(xué)組件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩(wěn)定性。具有客制化和價(jià)格優(yōu)勢(shì)，目前已有SiC與光學(xué)組件廠(chǎng)客戶(hù)銷(xiāo)售實(shí)績(jī)。

資騰科技充分考慮大陸市場(chǎng)特性和全球趨勢(shì)，針對(duì)ESG、第三代半導(dǎo)體、新建晶圓廠(chǎng)和設(shè)備國(guó)產(chǎn)化等領(lǐng)域提出不同的解決方案。通過(guò)強(qiáng)大的產(chǎn)業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)能力，與合作伙伴攜手，共同促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新未來(lái)。