粵芯之后，大灣區(qū)將迎來(lái)這些12英寸晶圓廠(chǎng)！

近日，粵芯半導(dǎo)體完成數(shù)億元B輪戰(zhàn)略融資，其背后的政府產(chǎn)業(yè)基金投資陣容再度讓業(yè)界見(jiàn)識(shí)到大灣區(qū)補(bǔ)足造芯短板的決心。

在外界的印象中，大灣區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)遠(yuǎn)不如長(zhǎng)三角地區(qū)。這不僅因?yàn)閺漠a(chǎn)業(yè)規(guī)模上，長(zhǎng)三角地區(qū)占據(jù)了全國(guó)近半壁江山，還因?yàn)樵?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E4%BA%A7%E4%B8%9A%E9%93%BE/">產(chǎn)業(yè)鏈完整程度上，長(zhǎng)三角擁有最完整的芯片產(chǎn)業(yè)鏈，而大灣區(qū)的集成電路產(chǎn)業(yè)布局極其不均衡——芯片設(shè)計(jì)見(jiàn)長(zhǎng)，而芯片制造和設(shè)備、材料方面的短板明顯。

不過(guò)，粵芯半導(dǎo)體的突圍已經(jīng)率先打響了大灣區(qū)追趕的第一槍?zhuān)⑶疫@種產(chǎn)業(yè)失衡的局面有望在未來(lái)幾年被打破，據(jù)芯師爺梳理，未來(lái)幾年，大灣區(qū)至少將迎來(lái)三座更高規(guī)格的12英寸晶圓廠(chǎng)?？梢哉f(shuō)，大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的明天，值得期待。

大灣區(qū)在建/籌備中的12英寸晶圓廠(chǎng)

粵芯半導(dǎo)體12英寸晶圓廠(chǎng)

2019年9月廣州粵芯半導(dǎo)體一期月產(chǎn)4萬(wàn)片12英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。作為大灣區(qū)首個(gè)并且是目前唯一進(jìn)入12 英寸芯片量產(chǎn)的晶圓制造廠(chǎng)，粵芯半導(dǎo)體的發(fā)展速度驚人，僅僅用了18個(gè)月就實(shí)現(xiàn)從無(wú)到有到量產(chǎn)的突破，完成了廠(chǎng)房建設(shè)、設(shè)備調(diào)試、投片、工藝平臺(tái)開(kāi)發(fā)、可靠性驗(yàn)證、爬坡量產(chǎn)等整套流程。

據(jù)悉，粵芯半導(dǎo)體項(xiàng)目計(jì)劃分為三期進(jìn)行，計(jì)劃總投資約370億元，一、二期主要技術(shù)節(jié)點(diǎn)為180-55nm制程，三期技術(shù)節(jié)點(diǎn)為180-90nm制程。

目前粵芯半導(dǎo)體一期、二期項(xiàng)目已先后量產(chǎn)，三期項(xiàng)目則于今年8月中旬正式啟動(dòng)建設(shè)，總投資162.5億元，將新建產(chǎn)能4萬(wàn)片/月的12英寸集成電路模擬特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)，力爭(zhēng)在2024年建成投產(chǎn)，預(yù)計(jì)到2025年粵芯半導(dǎo)體將實(shí)現(xiàn)月產(chǎn)能12萬(wàn)片。

按照規(guī)劃，三期項(xiàng)目規(guī)劃打造工業(yè)級(jí)和車(chē)規(guī)級(jí)模擬特色工藝平臺(tái)，主要應(yīng)用于電力電子、服務(wù)器/5G基站及汽車(chē)電子的功率器件芯片、信號(hào)鏈芯片、電源管理芯片、微控制器芯片及圖像傳感器等多種產(chǎn)品。

中芯國(guó)際12英寸晶圓廠(chǎng)

據(jù)廣東省發(fā)展改革委公布的《廣東省2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃表》，中芯國(guó)際將在深圳建設(shè)一條月產(chǎn)能為4萬(wàn)片/月的12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)，總投資153億元，聚焦28納米及以上工藝節(jié)點(diǎn)的生產(chǎn)，產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)起止年限為2021-2025。其中，2022年計(jì)劃投資30億人民幣，投資建設(shè)內(nèi)容包括土建和設(shè)備安裝。

另外根據(jù)深圳市坪山區(qū)投資推廣服務(wù)署去年發(fā)布的公告，中芯國(guó)際12英寸晶圓代工生產(chǎn)線(xiàn)主要規(guī)劃進(jìn)行55nm高壓大屏驅(qū)動(dòng)，0.15μm電源驅(qū)動(dòng)以及40/28nm高壓大屏驅(qū)動(dòng)芯片的量產(chǎn)生產(chǎn)，以顯示驅(qū)動(dòng)、圖像傳感以及電源管理產(chǎn)品為切入口，預(yù)留其他類(lèi)型產(chǎn)品兼容性。

華潤(rùn)微電子12英寸晶圓廠(chǎng)

華潤(rùn)微電子深圳12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)選址深圳市寶安區(qū)，并于今年10月底正式開(kāi)工建設(shè)。

據(jù)公開(kāi)報(bào)道，該項(xiàng)目一期總投資220億元，聚焦40納米以上模擬特色工藝，項(xiàng)目建成后將形成年產(chǎn)48萬(wàn)片12英寸功率芯片的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品主要應(yīng)用于汽車(chē)電子、新能源、工業(yè)控制、消費(fèi)電子等領(lǐng)域。

華潤(rùn)微電子是華潤(rùn)集團(tuán)旗下在國(guó)內(nèi)最早布局特色工藝平臺(tái)技術(shù)研發(fā)的綜合性半導(dǎo)體企業(yè)。2022年1月，華潤(rùn)微電子在深圳寶安區(qū)設(shè)立集高端制造運(yùn)營(yíng)、投資孵化、科研創(chuàng)新、銷(xiāo)售一體化等職能為主的華潤(rùn)微南方總部暨全球創(chuàng)新中心，并開(kāi)始啟動(dòng)12英寸特色工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目。

增芯科技12英寸晶圓廠(chǎng)

據(jù)廣州市發(fā)展和改革委員會(huì)公布的《廣州市2022年重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目計(jì)劃》，廣州增芯科技有限公司將打造12英寸先進(jìn)MEMS傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線(xiàn)，總投資370億，預(yù)期一期第一階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能2萬(wàn)片/月；一期第二階段達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能擴(kuò)至6萬(wàn)片/月。

據(jù)廣州增芯科技有限公司官方平臺(tái)介紹，其致力于建設(shè)國(guó)內(nèi)第一家專(zhuān)業(yè)定制化 12英寸智能傳感器芯片制造企業(yè)，產(chǎn)品主要以力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套 ASIC 芯片為主，著力面向粵港澳大灣區(qū)這一全球傳感器最大的應(yīng)用市場(chǎng)，快速構(gòu)建傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，助力大灣區(qū)成為全球傳感器產(chǎn)業(yè)中心的核心支撐和引領(lǐng)平臺(tái)。

大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)的進(jìn)擊之路

雖然大灣區(qū)發(fā)力晶圓制造較晚，但是決心與行動(dòng)都不容置疑，尤其近兩年動(dòng)作頻頻。

資金方面，由國(guó)家發(fā)展改革委主管的中國(guó)經(jīng)濟(jì)改革研究基金會(huì)聯(lián)合中央企業(yè)、科技龍頭企業(yè)、地方政府共同發(fā)起的粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資基金于2021年11月正式成立，基金總規(guī)模1000億元，首期規(guī)模200億元，重點(diǎn)投向粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新關(guān)鍵領(lǐng)域，其中就包括集成電路領(lǐng)域。

政策端，2020年9月，廣東省工業(yè)和信息化廳發(fā)布了《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃（2021—2025年）》（《以下簡(jiǎn)稱(chēng)“計(jì)劃”》）。

《計(jì)劃》在直面廣東芯片制造環(huán)節(jié)短板明顯，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)的12英寸晶圓線(xiàn)匱乏等問(wèn)題的基礎(chǔ)上，提出要大力支持技術(shù)先進(jìn)的IDM（設(shè)計(jì)、制造及封測(cè)一體化）企業(yè)和晶圓代工企業(yè)布局研發(fā)、生產(chǎn)和運(yùn)營(yíng)中心的規(guī)劃，此外，《計(jì)劃》還提及要重點(diǎn)推動(dòng)12英寸晶圓線(xiàn)及8英寸硅基氮化鎵晶圓線(xiàn)等項(xiàng)目建設(shè)的重點(diǎn)工程構(gòu)想。

值得注意的是，《計(jì)劃》中特別指出，廣東集成電路產(chǎn)業(yè)要走差異化的發(fā)展道路，本著錯(cuò)位發(fā)展的原則，重點(diǎn)在特色工藝制程和已有一定基礎(chǔ)的功率器件、第三代半導(dǎo)體方面發(fā)力......重點(diǎn)發(fā)展模擬芯片、功率器件和第三代半導(dǎo)體器件等。這也與上述幾家即將落地的12英寸晶圓制造廠(chǎng)的產(chǎn)線(xiàn)方向相互呼應(yīng)。

此外，大灣區(qū)各城市也陸續(xù)出臺(tái)了相關(guān)鼓勵(lì)政策。比如今年6月，廣州南沙發(fā)布了《廣州南沙新區(qū)（自貿(mào)片區(qū)）促進(jìn)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持辦法》，從重大項(xiàng)目落戶(hù)、企業(yè)融資、完善集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、補(bǔ)貼企業(yè)生產(chǎn)型用電等九個(gè)方面對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)行扶持。

幾乎同一時(shí)間，深圳發(fā)布了《深圳市培育發(fā)展半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃（2022—2025年）》，其中提到，到2025年，產(chǎn)業(yè)營(yíng)收突破2500億元，形成3家以上營(yíng)收超過(guò)100億元和一批營(yíng)收超過(guò)10億元的設(shè)計(jì)企業(yè)，引進(jìn)和培育3家營(yíng)收超20億元的制造企業(yè)，集成電路產(chǎn)業(yè)能級(jí)明顯提升，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)更加合理。此外，佛山、東莞等城市也在日前發(fā)布了2022-2025年半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展行動(dòng)方案，引導(dǎo)、鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

誠(chéng)然，集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展并不是一蹴而就的事情，人才培育、技術(shù)積累、產(chǎn)業(yè)氛圍都需要久久為功。不過(guò)，從大灣區(qū)奮力追趕的勢(shì)頭來(lái)看，集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極的崛起，應(yīng)該不會(huì)是太遙遠(yuǎn)的事情。